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【2h】

Optimization of the GaAs-on-Si Substrate for Microelectromechanical Systems (MEMS) Sensor Application

机译：用于微机电系统（MEMS）传感器的GaAs-on-Si衬底的优化

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Shi YB (Shi, Yunbo); Guo H (Guo, Hao); Ni HQ (Ni, Haiqiao); Xue CY (Xue, Chenyang); Niu ZC (Niu, Zhichuan); Tang J (Tang, Jun); Liu J (Liu, Jun); Zhang WD (Zhang, Wendong); He JF (He, Jifang); Li MF (Li, Mifeng); Yu Y (Yu, Ying);
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年度 2012
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