Electrodeposition of thin tantalum layers from ionic liquids and measurement of their electrical properties

摘要

Diplomová práce je zaměřena na elektrodepozici tantalu z iontového roztoku 1-butyl-1- methylpyrrolidinium bis(trifluoromethylsulfonyl) imide, ([BMP]Tf2N) při 200°C a popis souvisejících přenosových a kinetických jevů na fázovém rozhraní iontového roztoku a pracovní elektrody. Práce obsahuje literární rešerši týkající se elektrodepozice tantalových vrstev z různých iontových roztoků s obsahem tantalových solí a zejména využití iontového roztoku ([BMP]Tf2N). Výsledky cyklické voltametrie, povrchové analýzy SEM a prvkové analýzy EDX jsou uvedeny včetně diskuze k získaným výsledkům. V práci byla prokázána existence MIS (kov-izolant-polovodič) struktury, tvořené izolantem z porézní aluminy a polovodivou vrstvou TaxOy. Elektrická vodivost a kapacita dané MIS struktury byly detailně studovány s využitím ampér-voltových IV a CV charakteristik. Výsledky cyklické voltametrie, impedančního měření a chronoamperometrie jsou podrobně diskutovány.