Analysis of the gas flow in the passage of the primary electron beam differentially pumped chamber depending on the shape of the nozzle inlet

摘要

U environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu je nutné oddělit komoru vzorku s tlakem aţ 2000 Pa od prostředí tubusu s tlakem 0.01 Pa diferenciálně čerpanou komorou. Tato diferenciálně čerpaná komora musí být konstruována tak, aby nejen dokázala dostatečně oddělit od sebe oblasti s velmi rozdílnými tlaky, ale také v dráze prolétávajících primárních elektronů musí být co nejniţší průměrná hodnota tlaku a hustoty, aby docházelo k co nejniţšímu rozptylu těchto elektronů vzniklým sráţkami elektronů s molekulami vzduchu. Byly vytvořeny osově symetrické 2D modely variant tvaru diferenciálně čerpané komory s různými úhly rozevření kuţele, které byly analyzovány s cílem vybrat optimální variantu. Pro analýzy byl pouţit systém Ansys Fluent vyuţívající metodu konečných objemů pro analýzu proudění tekutin