Voltage contrast method at detection of secondary electrons by scintillation detector in VP SEM

摘要

Tato diplomová práce se zabývá problematikou elektronového rastrovacího mikroskopu pracujícího při vyšším tlaku v komoře vzorku. Hlavním cílem práce bylo sledování napěťového kontrastu na přechodu PN výkonového transistoru za vhodných pracovních podmínek za pomocí environmentální rastrovacího mikroskopu. Pozorování vzorku bylo umožněno pomocí scintilačního detektoru určeného pro pozorování ve vysokém tlaku.