Measurement of thin films properties by imaging spectroscopy and magnetooptical Kerr effect

摘要

Tato diplomová práce je rozdělena do tří hlavních částí, které se zabývají optickými a magnetickými vlastnostmi tenkých vrstev a způsoby jejich měření. Princip spektroskopické reflektometrie a měření optických vlastností tenkých vrstev tvoří náplň první části. Stěžejní jsou pak výsledky zobrazovací reflektometrie, kterou sledujeme in situ změnu optických vlastností tenké vrstvy SiO2 v průběhu jejího leptání na ploše cca 10 × 13 mm2. Druhá část je věnována magnetickým vlastnostem tenkých vrstev a popisu úprav měřicího zařízení na ÚFI FSI VUT v Brně. Magnetické vlastnosti jsou sledovány pomocí longitudinálního magnetooptického Kerrova jevu, kdy při odrazu polarizovaného světla na magnetickém materiálu dojde ke stočení roviny jeho polarizace. Měřicí sestava byla rozšířena o mikroskopový objektiv, abychom docílili fokusace laserového svazku do co nejmenší stopy. Tím dostáváme informaci o lokálních magnetických vlastnostech tenké vrstvy a jsme schopni tyto vlastnosti měřit i u magnetických mikrostruktur. Závěrečná část byla vypracována v rámci studijní stáže Erasmus. Zabývá se optimalizací trojvrstvy spinového ventilu Co/Cu/NiFe. Cílem bylo dosáhnout co nejvyšší změny elektrického odporu v závislosti na vzájemné orientaci vektorů magnetizace. Tento jev je nazýván Giant Magnetoresistance (GMR) a lze jej pozorovat u magnetických multivrstev.