Influence of working conditions on the results of X-ray analysis in the low vacuum scanning electron microscope

摘要

Bakalárska práca sa zaoberá detekciou charakteristického röntgenového žiarenia a energiovo disperznou spektroskopiou v prostredí nízkovákuového rastrovacieho elektrónového mikroskopu. Opisuje detekciu röntgenového žiarenia pomocou silicon drifted detektoru, a tiež princíp kvalitatívnej a kvantitatívnej röntgenovej analýzy. Cieľom tejto práce je predviesť energiovo disperznú spektroskopiu známych prvkov za optimálnych podmienok a sledovať zmeny parametrov a výsledkov spektroskopie počas zmeny pracovných podmienok v nízkovákuovom rastrovacom elektrónovom mikroskope Vega3 XMU s Xflash 6|10 spektroskopom.