首页> 外文OA文献 >Single-step fabrication of thin-film linear variable bandpass filters based on metal-insulator-metal geometry
【2h】

Single-step fabrication of thin-film linear variable bandpass filters based on metal-insulator-metal geometry

机译:基于金属-绝缘体-金属几何形状的薄膜线性可变带通滤波器的单步制造

代理获取
本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务,本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文,但由于OA文献来源多样且变更频繁,仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况,如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

摘要

A single-step fabrication method is presented for ultra-thin, linearly variable optical bandpass filters (LVBFs) based on a metal–insulator–metal arrangement using modified evaporation deposition techniques. This alternate process methodology offers reduced complexity and cost in comparison to conventional techniques for fabricating LVBFs. We are able to achieve linear variation of insulator thickness across a sample, by adjusting the geometrical parameters of a typical physical vapor deposition process. We demonstrate LVBFs with spectral selectivity from 400 to 850 nm based on Ag (25 nm) and MgF$_{2}$ (75–250 nm). Maximum spectral transmittance is measured at ∼70% with a $extit{Q}$-factor of ∼20.
机译:提出了一种单步制造方法,该方法基于超薄线性可变光学带通滤光片(LVBF),该滤光片基于金属-绝缘体-金属排列,采用改进的蒸发沉积技术。与用于制造LVBF的常规技术相比,这种替代的工艺方法降低了复杂性和成本。通过调整典型物理气相沉积工艺的几何参数,我们能够实现整个样品上绝缘体厚度的线性变化。我们证明了基于Ag(25 nm)和MgF $ _ {2} $(75–250 nm)的LVBF具有400至850 nm的光谱选择性。最大光谱透射率在约70%的条件下测得,系数为20。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
代理获取

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号