机译:激光能量密度对a-SiGe:H薄膜的ArF准分子激光辅助结晶的影响
机译:调Q Nd:YAG和ArF受激准分子激光诱导的金属等离子体的时间分辨演化
机译:准分子激光增强金属电化学刻蚀工艺的实验研究
机译:准分子激光平坦化技术用于多层金属化,改善了集成电路上的互连
机译:用1300nm和1064nm激光源的硅集成电路电光频率调制=用1300nm和1064nm激光的基于硅基集成电路的电光频调制(EOFM)
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:对用于大规模集成电路的LPCVD难熔金属/硅化物互连材料的系统研究。
机译:激光化学沉积和蚀刻对集成电路金属化水平的影响