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【2h】

Control of reactive plasmas in a multicusp plasma source equipped with a movable magnetic filter

机译：配备可移动磁过滤器的多尖端等离子体源中反应性等离子体的控制

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Fukumasa, Osamu; Naitou, Hiroshi; Sakiyama, Satoshi;
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年度 1993
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