Фотолюминесцентные свойства нанопористого кремния, формируемого электрохимическим методом

摘要

В данной работе рассматриваются фотолюминесцентные свойства ПК на подложке p-типа, полученные при возбуждающем излучении с длиной волны 444 нм, соответствующем спектру излучения синего светодиода. Исследовалась зависимость яркостных и спектральных характеристик фотолюминесценции от условий формирования пленок пористого кремния, полученных на монокристаллической кремниевой подложке p-типа. Образцы различных серий были приготовлены при помощи различных составов травителей. Зависимости спектральных характеристик от пористости не наблюдалась.