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【2h】

Layer-by-layer photonic crystal fabricated by low-temperature atomic layer deposition

机译:通过低温原子层沉积制备的逐层光子晶体

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摘要

Layer-by-layer three-dimensional photonic crystals are fabricated by low-temperature atomic layer deposition of titanium dioxide on a polymer template created by soft lithography. With a highly conformal layer of titanium dioxide, a significantly enhanced photonic band gap effect appears at 3.1μm in transmittance and reflectance. From optical investigations of systematically shifted structures, the robust nature of the photonic band gap with respect to structural fluctuations is confirmed experimentally. With angle-resolved Fourier-transform spectroscopy, the authors also demonstrate that the fabricatedphotonic crystal can be a diffraction-free device as the photonic band gap exists over the diffracting regime.
机译:通过将二氧化钛低温原子层沉积在通过软光刻产生的聚合物模板上,可以制造出逐层的三维光子晶体。使用高度保形的二氧化钛层,在3.1μm的透射率和反射率下会显着增强光子带隙效应。通过对系统位移结构的光学研究,实验证实了光子带隙相对于结构波动的鲁棒性。利用角度分辨傅里叶变换光谱,作者还证明了所制造的光子晶体可以是无衍射器件,因为在整个衍射范围内都存在光子带隙。

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