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Chemically Amplified, Positive Tone, Polynorbornene Dielectric for Microelectronics Packaging

机译：化学放大，正色调，聚降冰片烯电介质，用于微电子封装

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Presented at the Orlando, Florida, Meeting ofthe ECS Society, May 11–15, 2014.

机译：在2014年5月11日至15日于佛罗里达州奥兰多举行的ECS协会会议上发表。

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作者
Mueller Brennen K.; Schwartz Jared M.; Sutlief Alexandra E.; Bell William K.; Hayes Colin O.; Elce Edmund; Willson C. Grant; Kohl Paul A.;
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作者单位

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年度 2014
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Chemically Amplified, Positive Tone, Polynorbornene Dielectric for Microelectronics Packaging

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