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【2h】

Large-grained (111)-oriented Si/Al/SiO2 structures formed by diffusion-controlled Al-induced layer exchange

机译：通过扩散控制的铝诱导层交换形成的大晶粒（111）取向的Si / Al / SiO2结构

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作者
Numata Ryohei; Toko Kaoru; Usami Noritaka; Suemasu Takashi;
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年度 2014
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