Du tri-isopropoxyde aux oxydes d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur : procédé, composition et propriétés des revêtements obtenus

摘要

Des revetements d'alumine préparés par MOCVD à partir d'isopropoxyde d'aluminium (réacteur à mur chaud, basse pression, température de dépôt entre 350° et 700°C) ont été caractérisés par EDS, EMPA, ERDA-RBS, DRX, MEB, MET, FTIR, ATG, AFM. La composition des dépôts préparés par pyrolyse du précurseur dans l'azote sec est AlO(OH) (amorphe) à 350°C, Al203 (amorphous or nanocristallin) au dessus de 415°C. Le dépôt en présence de vapeur d'eau conduit à la formation de Al203 uniquement. L'évolution microstructurale des dépôts a été étudiée par la technique de déflexion de lames asymétriquement revêtues, et par MET. Des essais de corrosion en solution et de corrosion sous contrainte effectués sur des alliages de titane Ti6242 revêtus d'alumine mettent en évidence un comportement électrochimique et des aptitudes de barrière très prometteurs, au niveau des meilleurs revêtements protecteurs testés.