首页> 外文OA文献 >Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні

【2h】

Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні

机译：使用磁控溅射在真空室VUP5M中获得稳定的等离子体放电的技术优化

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Коровицький А. М.; Колядинський І. М.; Сахарчук В. В.; Мирончук Г. Л.;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2012
总页数
原文格式 PDF
正文语种 uk
中图分类

相似文献

中文文献
专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号