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Study on high dielectric constant film capacitors for large scale integrated circuits

机译：大规模集成电路用高介电常数薄膜电容器的研究

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制度:新 ; 文部省報告番号:乙1518号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2000-03-2 ; 早大学位記番号:新2981 ; 理工学図書館請求番号:2482

机译：系统：新；教育部报告编号：大津1518；学位类型：博士（工程学）；授予日期：2000-03-2；早稻田大学注册处编号：新2981；科学技术图书馆申请编号：2482

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作者
青山知憲;
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年度 2016
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