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【2h】

縦磁界印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置の開発と成膜機構の研究

机译：利用纵向磁场的同轴线型微波等离子体CVD设备的研制及成膜机理的研究

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摘要

(研究課題番号07650383) 平成8年度科学研究費補助金(基板研究(C)(2))研究成果報告書 研究代表者加藤勇(早稲田大学理工学部・教授)
机译：(研究课题番号07650383) 平成8年度科学研究费补助金(基板研究(C)(2))研究成果报告书 研究代表者加藤勇(早稲田大学理工学部・教授)

著录项

  • 作者

    加藤 勇;

  • 作者单位
  • 年度 1997
  • 总页数
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  • 正文语种 ja
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