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机译:使用多角度倾斜光刻技术制作3-D微结构及其微流体应用
佐藤 寛暢;
机译:用于3D微结构制造的棱镜辅助倾斜UV光刻
机译:基于像素曝光光刻的同步加速器辐射制备3-D微结构的研究
机译:基于像素曝光光刻技术的同步辐射制备3-D微结构的研究
机译:用倾斜/旋转UV光刻制造3D微结构
机译:磁性二维和三维微结构的制造,用于微流体和微机器人。
机译:倾斜光刻技术用于高层微通道气动微阀的制造
机译:使用多角度倾斜光刻及其微流体应用制造3-D微结构
机译:软光刻的微流体应用
机译:光流体光刻系统,制造两层微流体通道的方法和制造三维微结构的方法
机译:光学光刻技术,两层微流控通道的制造方法和三维微结构的制造方法
机译:光学光刻技术,制造两层微流体通道的方法以及制造三维微结构的方法
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