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【2h】

Electrochemical characterization of silicon wafer surfaces and development of novel nanofabrication processes

机译:硅晶片表面的电化学表征和新型纳米加工工艺的发展

摘要

制度:新 ; 文部省報告番号:甲2328号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2007/3/15 ; 早大学位記番号:新4390
机译:系统:新;教育部报告编号:Ko 2328;学位类型:博士(工程学);授予日期:2007/3/15;早稻田大学注册处编号:新4390

著录项

  • 作者

    久保 暢宏;

  • 作者单位
  • 年度 2007
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 en
  • 中图分类

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