机译:使用计算流体动力学软件(fluent)确定热线化学气相沉积系统内部的气流模式
机译:在有图案的基板上沉积热和热线化学气相沉积铜薄膜
机译:撞击化学气相沉积反应器中氧化锡沉积的计算流体动力学模型
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:基于计算的流体动力学使用进化算法的金属 - 有机化学气相沉积系统的形状优化
机译:利用计算流体力学评估水平型中尺度化学气相沉积反应器中流体动力学对薄膜生长的影响
机译:热丝化学气相沉积法对NiSi / SiC核壳纳米线的固态有限成核
机译:FLUENT用于热线化学气相沉积系统的热流研究,以确定在生长层表面达到的温度
机译:利用热线化学气相沉积技术利用电子沟道模式对低温行星硅进行工艺优化