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Multiplexed MPC for mutli-zone thermal processing in semiconductor manufacturing

机译：多重MPC用于半导体制造中的多区域热处理

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ANDREAS;
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年度 2009
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1. Multiplexed MPC for Multizone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing [J] . Ling K. V., Ho W. K., Wu B. F., Control Systems Technology, IEEE Transactions on . 2010,第6期

机译：用于半导体制造中多区域热处理的多路MPC
2. A Knowledge Database on Thermal Control in Manufacturing Processes (Molding, Semiconductor Manufacturing, and Micro-Scale Manufacturing) [J] . Shigeki HIRASAWA, Isao SATOH JSME International Journal. Series B, Fluids and Thermal Engineering . 2003,第4期

机译：有关制造过程（模塑，半导体制造和微型制造）中的热控制的知识数据库
3. MATHEMATICAL MODEL OF THERMAL REACTION PROCESS FOR EXTERNAL HEATING EQUIPMENT IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTORS (PART Ⅱ) [J] . Kenji Shirai, Yoshinori Amano, Sigeru Omatu International Journal of Innovative Computing Information and Control . 2013,第5期

机译：半导体制造外部加热设备热反应过程的数学模型（第二部分）
4. Experimental evaluation of Multiplexed MPC for semiconductor manufacturing [C] . Asian Control Conference . 2009

机译：多路复用MPC用于半导体制造的实验评价
5. Optical subcarrier multiplexed signal processing using semiconductor optical amplifiers. [D] . Vaughn, Mark Douglas. 1998

机译：使用半导体光放大器的光子载波多路复用信号处理。
6. Influence of feeding thermally peroxidized soybean oil to finishing barrows on processing characteristics and shelf life of commercially manufactured bacon [O] . Martin Franklin Overholt, Jessica Erin Lowell, Gap-Don Kim, 2018

机译：将热过氧化大豆油喂入育肥猪对商品化培根的加工特性和保质期的影响
7. A Knowledge Database on Thermal Control in Manufacturing Processes (Molding, Semiconductor Manufacturing, and Micro-Scale Manufacturing) [O] . Shigeki HIRASAWA, Isao SATOH 2003

机译：制造过程中热控制的知识数据库（模制，半导体制造和微尺度制造）
8. Semiconductor Measurement Technology: Survey of Optical Characterization Methodsfor Materials, Processing, and Manufacturing in the Semiconductor Industry [R] . Bullis, W. M., Perkowitz, S., Seiler, D. G. 1995

机译：半导体测量技术：半导体工业中材料，加工和制造的光学表征方法综述

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