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【2h】

Silicon micromachined resonant accelerometer with CMOS interface circuits

机译：具有CMOS接口电路的硅微机械谐振加速度计

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HE LIN;
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年度 2009
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2. A three-axis micromachined accelerometer with a CMOS position-sense interface and digital offset-trim electronics [J] . Lemkin M., Boser B.E. IEEE Journal of Solid-State Circuits . 1999,第4期

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