Novel Actuation Mechanisms for MEMS Mirrors

机译：具有低工作电压的混合驱动机制的二维MEMS扫描镜

机译：相变机制驱动的MEMS反射镜建模

机译：具有非线性动力学梳理谐振MEMS镜的线性建模与控制

机译：使用PZT薄膜悬臂致动器开发MEMS反射镜致动机构

机译：静电驱动2D MEMS微镜。

机译：相变机制驱动的MEMS反射镜建模

机译：使用具有低操作电压的混合动力驱动机制的二维MEMS扫描镜

机译：用于太空望远镜的高执行器计数mEms可变形反射镜

机译：作为MEMS镜扫描仪的驱动方式和MEMS致动器扫描仪的驱动方式以及MEMS镜扫描仪的驱动方式，其中

机译：驱动微镜扫描仪的方法，驱动微镜驱动器扫描仪的方法以及控制微镜驱动器的旋转角度的方法

机译：用于驱动存储器的方法-镜子扫描仪，用于驱动存储器的方法-在扫描仪方向之前致动以及用于控制存储器的旋转角度的方法-致动装置