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【2h】

ULTRAVIOLET ROLL-TO-ROLL NANOIMPRINT LITHOGRAPHIC FABRICATION OF FLEXIBLE POLYMER MOULDS

机译：柔性聚合物模具的卷对卷纳米压印光刻技术

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作者
JARRETT JONATHAN DUMOND;
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年度 2014
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1. Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography [J] . Hiroshi Yoshikawa, Jun Taniguchi, Go Tazaki, Microelectronic Engineering . 2013,第deca期

机译：通过高产量卷对卷紫外线纳米压印光刻技术制造高纵横比图案
2. Nanoimprint Resist Material Containing Ultraviolet Reactive Fluorine Surfactant for Defect Reduction in Lithographic Fabrication [J] . Atsushi Sekiguchi, Satoshi Takei Applied Sciences . 2012,第1期

机译：包含紫外线反应性氟表面活性剂的纳米压印材料，可减少光刻加工中的缺陷
3. Fabrication of flexible oriented magnetic thin films with large in-plane uniaxial anisotropy by roll-to-roll nanoimprint lithography [J] . Rukshan M. Thantirige, Jacob John, Nihar R. Pradhan, Journal of magnetism and magnetic materials . 2016,第Juna期

机译：卷对卷纳米压印光刻技术制备大面内单轴各向异性的柔性取向磁性薄膜
4. Patterning of multi-leveled microstructures on flexible polymer substrate using roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography [C] . Kooy Nazrin, Rahman Norian, Mohamed Khairudin IEEE/CPMT International Electronic Manufacturing Technology Symposium;IEMT . 2012

机译：使用卷对卷紫外线纳米压印光刻技术在柔性聚合物基板上对多级微结构进行图案化
5. Piezoelectric jetting of polymers and its application in roll-to-roll nanoimprint lithography. [D] . Gehlhausen, David. 2013

机译：聚合物的压电喷射及其在卷对卷纳米压印光刻中的应用。
6. Fabrication of Flexible Polymer Molds for PolymerMicrostructuring by Roll-to-Roll Hot Embossing [O] . Nischay KodihalliShivaprakash, *, Thomas Ferraguto, 2019

机译：用于聚合物的柔性聚合物模具的制造卷对卷热压印的微观结构
7. Nanoimprint Resist Material Containing Ultraviolet Reactive Fluorine Surfactant for Defect Reduction in Lithographic Fabrication [O] . Satoshi Takei, Atsushi Sekiguchi 2012

机译：包含紫外线反应性氟表面活性剂的纳米压印材料，可减少光刻加工中的缺陷

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