Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

摘要

В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема технологической части установки ионно-лучевого осаждения функциональных пленок и синтеза наногетероструктур, для которой система разрабатывалась,udописана структурная схема микропроцессорной системы управления, принципиальные схемы отдельных ее блоков, алгоритмы работы, а также результаты исследования полученных нитридudных и оксинитридных пленок титана наноразмерной толщины.ududУ даній роботі представлена розроблена комплексна система моніторингу, управління і стабілізації процесу іонно-променевого осадження, а також описана оптимізація параметрів здобуття нанорозмірних нітридних і оксинітридних плівок і наногетероструктур на основі титану. У роботі представлена схема технологічної частини установки іонно-променевого осадження функціональних плівок і синтезу наноструктур, для якої система розроблялася, структурна схема розробленої мікропроцесорної системи, принципові схеми окремих її блоків, алгоритми роботи, а також результати отриманих нітридних і оксинітиідних плівок титану нанорозмірної товщини.udThe integrated system developed for the ion-beam deposition process monitoring, control and stabilizing is presented in this work. Also nitride and oxynitride nanoscale titanium films and structures parameters obtaining optimization method is described. The scheme of the functional films and synthesis of nanoscale structures ion-beam deposition plant, which the system was developed for, flow diagram of the developed microsystem, schemes of its separate blocks, algorithms of work, and also results of obtaining nitride and oxynitride nano-sized titanium films are presented.