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【2h】

Direct chemical in-depth profile analysis and thickness quantification of nanometer multilayers using pulsed-rf-GD-TOFMS

机译:使用脉冲RF-GD-TOFMS对纳米多层膜进行直接化学深度分布分析和厚度定量

摘要

7 páginas, 3 figuras, 2 tablas.-- et al.
机译:7页,3个数字,2个表。-等

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