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机译:通过激光烧蚀在VLSI电子产品和半导体传感器之间制造玻璃上金属高间距适配器
Rey-García F.; Bao-Varela C.; Fuente Germán F. de la; Gómez-Reino Carlos; Rodríguez Pablo;
机译:通过激光烧蚀在VLSI电子和半导体传感器之间制造玻璃上高间距金属适配器
机译:玻璃上金属高密度间距适配器的激光微加工和表征
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