Development of Technology for Roll-to-Roll Flexible Electronics---Fabrication of Flexible OTFTs by Nano Imprint Technology(II)

摘要

[[abstract]]本計劃為二年的計劃，目前為第二年，將進行捲軸式奈米壓印技術前期研究，以期未來能應用於軟性電子元件，同時達低成本與良好特性之效果。第一年計劃使用新方法製作OTFT元件電極，利用微接觸的方式在金屬表面沾上一層導電聚合物PEDOT，之後再連金屬一起轉印至有機半導體上，過程中不需要金屬濕蝕刻，不但可解決導電聚合物的導電度問題，也能兼具降低接觸電阻的優點，製作出更穩定且特性良好的OTFT元件電極，達最佳化之效果。第二年計劃針對奈米壓印引導有機分子成長的方法進行改良，以製作OTFT，先對電極的部份進行奈米壓印與蝕刻，形成溝槽後，再進行介電層沉積，形成厚度均勻的介電層，不但具有周期性奈米溝槽圖案引導有機分子成長的優選取向成長，並改善OTFT的元件特性的優點，正確估算與控制元件結構，將可有效提升元件的載子移動率與電性，未來若整合捲軸式壓印技術進行量產，將可製作出兼具低成本與良好特性的軟性電子元件。在世界各國皆已投入捲軸式奈米壓印技術之研究的情況下，本研究之獨特性將可發揮最大的研究效益，提升國內此一領域之研究與發展。