The Design and Fabrication of Valve-Less Micropump with Piezoelectric Actuator(I)

摘要

[[abstract]]微泵浦採用無閥式為設計基礎，利用壓電陶瓷片作為致動器。微泵浦製造利用微機電製程，包括HNA 與KOH 濕蝕刻，並以Pyrex7740 康寧玻璃與矽晶片陽極接合，作為微泵浦流道蓋板，並組裝壓電致動器及出入口流道，完成壓電致動無閥式微泵浦雛形。當壓電致動器電極施加約100Vpp 正弦波電壓，即可趨動流體單方向流動。無閥式微泵浦之進出口並無實際閥門，而由擴流器取代，擴流器之截面利用濕蝕刻而形成半橢圓，擴流器之擴張角度以ANSYS 求得最適當設計。