The Design and Fabrication of PZT Actuated Valve-Less Micropump (II)

摘要

[[abstract]]本研究利用紫外光電鑄鎳技術(UV-LIGA)製作微泵浦元件，包括微泵浦主體及振動微膜片，利用多層堆疊電鑄方式製作，以正型厚光阻為電鑄模，反覆光阻成模與電鑄兩道製程，在不鏽鋼基板上堆疊成所設計之結構。微泵浦主體經三次堆疊電鑄而成，而壓電驅動之振動微膜片則經兩層堆疊而成，完成元件從基板上脫離後，利用對準組裝平台將微泵浦主體和振動微膜片膠合，再黏貼PZT 壓電致動器，及組裝進出口流道，完成以電鑄鎳材料製作無閥式微泵浦之雛形。