机译:使用等离子体增强原子层沉积均匀在MOS2上均匀生长MOS2
机译:使用臭氧检测高κ电介质原子层沉积中的甲酸盐表面中间体
机译:高κ栅极电介质的氧化镧薄膜的原子层沉积
机译:HfO
机译:原位红外光谱研究钝化硅表面上高κ金属氧化物和金属的原子层沉积。
机译:具有高K原子层沉积介电材料绝缘层的CMUT
机译:采用GeOxNy钝化层的锗基金属氧化物半导体器件原子层沉积生长的TiO2 / HfO2双层栅堆叠