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【2h】

Changes of UV Optical Properties of Plasma Damaged Low-k Dielectrics for Sidewall Damage Scatterometry

机译：用于侧壁损伤散射法的等离子体损伤低k电介质的紫外光学性质的变化

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作者
Marsik Premysl; Urbanowicz Adam; Vinocur Klara; Cohen Y.; Baklanov Mikhail;
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作者单位

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年度 2008
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