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EP2034046A2: Improved cleaning of plasma chamber walls by adding of noble gas cleaning step

机译：EP2034046A2：通过添加稀有气体清洁步骤，改善了对等离子体室壁的清洁

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European patent application - EP2034046A2

机译：欧洲专利申请-EP2034046A2

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作者
Urbanowicz Adam; Baklanov Mikhail; Shamiryan Denis; De Gendt Stefan;
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作者单位

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年度 2009
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EP2034046A2: Improved cleaning of plasma chamber walls by adding of noble gas cleaning step

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