机译:评论F.U的“13.56MHz rf诊断RF维持AR-N2PLASMA”。汗,N.U. Rehman,S. Naseer,M.A. Naveed,A.Qayyum,N.A.D. Khattak和M. Zakaullah
机译:F.U.评论“通过光发射光谱法诊断13.56 MHz RF持续Ar-N2等离子体”。 Khan,N.U. Rehman,S.Naseer,M.A. Naveed,A.Qayyum,N.A.D. Khattak和M.Zakaullah
机译:N. Sadeghi和F.J. Gordillo-Vazquez对“通过光发射光谱法诊断13.56 MHz射频持续Ar-N_2等离子体的诊断”的评论答复
机译:发射光谱法诊断13.56 MHz RF持续Ar_N2等离子体