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【2h】

BEOL IMPACT TO IC PERFORMANCE FOR SOI180, SOI90 AND CMOS180, CMOS90 TECHNOLOGIES

机译：BEOL对SOI180，SOI90和CMOS180，CMOS90技术的影响对IC性能影响

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Dmirty Shipitsin; Alexandr Potupchik; Alexey Nushtaev;
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年度 2020
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