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Synchrotron Radiation Total Reflection X-ray Fluorescence Spectroscopy for Microcontamination Analysis on Silicon Wafer Surfaces

机译：同步辐射总反射X射线荧光光谱对硅晶片表面的微肠道分析

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Norikatsu Takaura;
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年度 1997
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2. Analysis of low Z elements on Si wafer surfaces with synchrotron radiation induced total reflection X-ray fluorescence at SSRL,Beamline 3-3:Comparison of droplets with spin coated wafers [J] . C.Streli, G.Pepponi, P.Wobrauschek, Spectrochimica Acta, Part B. Atomic Spectroscopy . 2003,第12期

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