机译:使用组合热线和电子回旋谐振等离子体沉积技术制备氢化非晶硅的生长和表征
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积制备掺Er氢化非晶硅中Er3 +的去激发机理
机译:新型热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积系统制备高质量氢化非晶硅膜
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机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:感应耦合等离子体沉积在室内照明中实现高转化效率的低温生长氢化非晶碳化硅太阳能电池
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)