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【2h】

Photonic micro-structures produced by selective etching of laser-crystallized amorphous silicon

机译：通过选择性蚀刻激光结晶的无定形硅产生的光子微结构

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G. Martinez-Jimenez; Y. Franz; A. F. J. Runge; M. Ceschia; N. Healy; S. Z. Oo; A. Tarazona; H. M. H. Chong; A. C. Peacock; S. Mailis;
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年度 2019
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