机译:920 MHz铝氮化铝横截面模式压电MEMS变压器,高开路电压增益超过39
机译:两端口堆叠式压电氮化铝轮廓模式谐振MEMS
机译:压电氮化铝MEMS环形双轮廓模式滤波器
机译:压电氮化铝振动轮廓模式MEMS谐振器
机译:氮化铝截面Lamé模式谐振器,具有260 MHz的光刻调谐能力,并且kt2> 4%
机译:通过金属有机气相外延技术开发用于压电MEMS / NEMS应用的表面微机械氮化铝空气桥。
机译:谐振Z轴氮化铝薄膜压电MEMS加速度计
机译:两端口堆叠式压电氮化铝轮廓模式谐振MEMS