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【2h】

Low-loss polysilicon waveguides fabricated in an emulated high-volume electronics process

机译：在仿真大容量电子过程中制造的低损耗多晶硅波导

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Jason S. Orcutt; Sanh D. Tang; Steve Kramer; Karan Mehta; Hanqing Li; Vladimir Stojanović; Rajeev J. Ram;
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年度 2012
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