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机译:激光调制散射作为光学表面和薄膜涂层的非破坏性评估工具
Zhouling Wu; Michael D. Feit; Mark R. Kozlowski; Alexander M. Rubenchik; Lynn M. Sheehan;
机译:角度分辨散射结合光学轮廓仪作为薄膜和表面测量的工具
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