机译:MOVPE化合物半导体外延制造技术的进步:从高吞吐量大面积反应器到簇工具
机译:GaAs基化合物半导体MOVPE生产规模行星反应器的建模与仿真
机译:用于氮化物半导体的多晶片常压MOVPE反应器以及使用氯气进行反应器组件的异位干洗以确保稳定运行
机译:用于光电应用的III-V类化合物半导体的分子束外延技术
机译:半导体制造中集群工具的吞吐量估计模型
机译:III-V化合物半导体的金属有机气相外延(MOVPE)的计算研究。
机译:选择性区域金属有机气相外延对位置控制的III–V化合物半导体纳米线太阳能电池
机译:气膜旋转在水平LP MOVPE反应器中生长基于InP的I-V化合物半导体的应用
机译:mOVpE化合物半导体外延制造技术的进展:从高通量大面积反应堆到集群工具