机译:使用等离子溅射型负离子源的ZrN薄膜沉积
机译:负离子源中铯的替代解决方案:在H2 / D2等离子体中金刚石表面产生负离子的研究
机译:大功率脉冲磁控溅射和相关放电:可扩展的等离子体源,用于基于等离子体的离子注入和沉积
机译:在RF等离子溅射型重负离子源中由复合气体产生反应性元素的负离子
机译:Penning表面等离子体负氢离子源的VUV吸收光谱。
机译:原子氮/氢的作用在GaN薄膜生长中通过用双重等离子体来源化学辅助溅射
机译:等离子体溅射型负离子源等离子体的射频激发
机译:高亮度等离子溅射重负离子源