机译:直接液体蒸发化学气相沉积法制备的光滑,高度共形的钴和氮化钴薄膜
机译:SiOCH上自形成的Mn氧化物阻挡层,用于通过金属有机化学气相沉积Mn制备纳米级铜互连
机译:SiOCH上自形成的Mn氧化物阻挡层,用于通过金属有机化学气相沉积Mn制备纳米级铜互连
机译:通过金属有机化学气相沉积在SBA-15纳米复合中封装铜纳米线的制备
机译:用于ULSI互连的金属化薄膜的化学气相沉积。
机译:在Nafion负载的电化学沉积钴纳米粒子上进行等离子体增强化学气相沉积产生的金属/碳杂化纳米结构
机译:2162-8769 / 2012/1(5)/N79/6/$28.00©电化学学会化学气相沉积氮化钴及其作为先进铜互连的粘合增强层的应用
机译:超高真空金属有机化学气相沉积和纳米二氧化钛薄膜的原位表征