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【2h】

Reactive magnetron sputtering of tungsten target in krypton/trimethylboron atmosphere

机译：克里普顿/三甲基硼钨气氛中钨靶的反应磁控溅射

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Martin Magnuson; Lina Tengdelius; Fredrik Eriksson; Mattias Samuelsson; Esteban Broitman; Grzegorz Greczynski; Lars Hultman; Hans Högberg;
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年度 2019
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