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【2h】

Nanometer-Scale Depth-Resolved Atomic Layer Deposited SiO2Thin Films Analyzed by Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy

机译：纳米级深度分辨的原子层沉积SiO2，通过辉光放电光发射光谱分析的SiO2膜

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Zhen Zhu; Chiara Modanese; Perttu Sippola; Marisa Di Sabatino; Hele Savin;
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年度 2017
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