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【2h】

Crystalline characteristics of annealed AlN films by pulsed laser treatment for solidly mounted resonator applications

机译：脉冲激光处理退火ALN薄膜的结晶特性，用于悬垂的固定谐振器应用

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H. K. Lin; Y. J. Huang; W. C. Shih; Y. C. Chen; W. T. Chang;
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年度 2019
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1. Crystalline characteristics of annealed AlN films by pulsed laser treatment for solidly mounted resonator applications [J] . H. K. Lin, Y. J. Huang, W. C. Shih, Chemistry central journal . 2019,第1期

机译：固态安装谐振器应用中通过脉冲激光处理的退火AlN薄膜的晶体特性
2. Solidly mounted resonators operated in thickness shear mode based on c-axis oriented AlN films [J] . Chen D., Wang J., Li D., Sensors and Actuators, A. Physical . 2011,第2期

机译：基于c轴取向AlN膜的厚度剪切模式下的固体谐振器
3. Improvement of the crystallinity of ZnO thin films and frequency characteristics of a film bulk acoustic wave resonator by using an Ru buffer layer and annealing treatment [J] . Kim EK, Lee TY, Hwang HS, Superlattices and microstructures . 2006,第1a4期

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4. Solidly Mounted Resonators with Layer-Transferred AlN using Sacrificial Crystalline Surfaces [C] . Mohamed Abd Allah, Robert Thalhammer, Jyrki Kaitila, 2009 proceedings of the European solid state device research conference . 2009

机译：使用牺牲晶体表面的层转移AlN固体安装谐振器
5. Pulsed laser annealing of silicon thin films in application to thin film transistors. [D] . Moon, Seung-Jae. 2001

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6. Crystalline characteristics of annealed AlN films by pulsed laser treatment for solidly mounted resonator applications [O] . H. K. Lin, Y. J. Huang, W. C. Shih, 2019

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7. Characteristics of AlN Thin Films prepared by Pulsed Laser Ablation [O] . Makoto Hirai, Tsuneo Suzuki, Weihua Jiang, 2000

机译：脉冲激光烧蚀制备的ALN薄膜特性

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