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【2h】

SWITCHABLE ALUMINUM NITRIDE MEMS RESONATOR USING PHASE CHANGE MATERIALS

机译：使用相变材料可切换铝氮化物MEMS谐振器

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作者
G. Hummel; Y. Hui; Z. Qian; M. Rinaldi;
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年度 2014
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1. MEMS switching of contour-mode aluminum nitride resonators for switchable and reconfigurable radio frequency filters [J] . Nordquist Christopher D., Branch Darren W., Pluym Tammy, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2016,第10期

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2. Optical switching at 1.55 μm in silicon racetrack resonators using phase change materials [J] . Rude Miquel, Pello Josselin, Simpson Robert E., Applied Physics Letters . 2013,第14期

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3. Optical switching at 1.55μm in silicon racetrack resonators using phase change materials [J] . Miquel Rude, Josselin Pello, Robert E. Simpson, Applied Physics Letters . 2013,第14期

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4. Phase change material programmable vias for switching and reconfiguration of Aluminum Nitride piezoelectric MEMS resonators [C] . Hummel G., Yu Hui, Rinaldi M. IEEE International Frequency Control Symposium . 2014

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