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【2h】

Wafer Level Packaged CMOS-SOI-MEMS Thermal Sensor at Wide Pressure Range for IoT Applications

机译：晶圆级别封装CMOS-SOI-MEMS热传感器，用于IOT应用的宽压力范围

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作者
Yael Nemirovsky; Moshe Avraham; Gady Golan; Michele Vaiana; Giuseppe Bruno; Maria Castagna; Sara Stolyarova; Tanya Blank;
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年度 2020
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