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机译:基于边缘发布的MEMS结构构建的声学传感器
S.-J. Chen; Y.K. Choe; E.S. Kim;
机译:边缘释放的压电MEMS声换能器,阵列配置
机译:用于研究MEMS换能器中的高频效应的可靠紧凑模型
机译:基于PZT悬臂的大体积MEMS声传感器,用于人工耳蜗应用
机译:基于悬臂状膜片的压电声换能器的制造
机译:电容式MEMS换能器,用于材料和结构的声发射测试。
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:用于声学换能器应用的驻极电压低压MEMS静电外致动器
机译:用于声纳应用的声学参数效应mEms放大器/传感器
机译:用于MEMS声换能器的微机械检测结构及其相应的制造工艺
机译:具有改善的鲁棒性的MEMS声波传感器的检测结构
机译:MEMS声换能器的微机械检测结构及相应的制造过程
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